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我們做的是晶體生長行業(yè)超高真空設(shè)備，需要在超高真空4.0E-11Torr環(huán)境內(nèi)把指甲大小，厚度約0.2mm產(chǎn)品加溫到800度左右，普通的發(fā)熱管，發(fā)熱片是不行的，如果有接觸到這類國外設(shè)備的朋友們，請?zhí)峁﹨⒖?br />由于眾所都知的原因，我們公司已承接到國家級的一個小技術(shù)項目開發(fā)，在國外這是幾十年前就有的技術(shù)，但國內(nèi)還處于空白狀態(tài)，我們需要從零開始奮起直追，希望得到以下技術(shù)參考，謝謝

由于在回復(fù)大家的信息過程 中，出現(xiàn)了多次360退出及信息被轉(zhuǎn)移的情況，有些信息我不再回復(fù)祥細(xì)技術(shù)內(nèi)容，請理解

激光，電磁，超聲波。不知可用嗎？

頂起，雖然我不知道用什么材料，不過還是要頂一下

因?yàn)橐�整體加熱一只產(chǎn)品，激光加熱的論證我們沒有通過
目前使用的是鎢絲加熱，但一旦升到450度左右，便有不良物質(zhì)析出，找了國際上正常供貨的能找到的不低于五六家，國內(nèi)也有五六家，最高5個9的純鎢絲，也在氣體分析儀上能讀出有足以影響到實(shí)驗(yàn)成敗的雜質(zhì)，因此只能多管齊下，探索多條路子
希望得到大家的提示幫助，集思廣益，

固態(tài)加熱器或者石墨加熱器？測溫就用溫控探頭就好啦

連這都不知道，還做啥子真空設(shè)備！！！！！

激光   電子束   渦流   超聲波  高頻感應(yīng)    微波

補(bǔ)充7樓    等離子加熱

按目前的情況來看，加 溫：有生產(chǎn)5個9以上高純度的鎢絲供應(yīng)商是個不錯的消息，但一定有比這更優(yōu)的加溫方案
                                測 溫：能優(yōu)于穿透藍(lán)寶石鍍膜石英玻璃窗口的紅外線測溫方法是最優(yōu)先選擇之一

加熱的空間多大？一次加熱一片還是一次加熱很多片？

為國出力的時候到了，頂起！

這個技術(shù)在涉及到直徑2厘米。。。。。。。。。砷化鎵外延片和玻璃的鍵合行業(yè)有國外進(jìn)口的配套工藝在國內(nèi)生產(chǎn)中使用，如果有參考消息，也可以私信我，謝謝
另外，告之大家，電子束的加熱方法不可用，我們有64到128束的電子束加溫設(shè)備，一整套這樣的加熱器連成真空腔體等近千萬，事實(shí)證明，不是有錢就可以堆出來的，理論很簡單，實(shí)現(xiàn)不容易