一区二区三区成人-一区二区三区www-一区二区三区 日韩-一区二区日韩欧美-一区二区日韩精品中文字幕-一区二区日韩

工采網(wǎng)
級別: 略有小成
精華主題: 0
發(fā)帖數(shù)量: 199 個
工控威望: 431 點
下載積分: 1526 分
在線時間: 3(小時)
注冊時間: 2020-06-02
最后登錄: 2024-06-13
查看工采網(wǎng)的 主題 / 回貼
樓主  發(fā)表于: 2023-11-27 15:24
擴散爐主要用于半導(dǎo)體材料的生產(chǎn),其工作原理是基于擴散過程的物理和化學(xué)原理。擴散過程即是一種集體輸運過程,即物質(zhì)在氣相或液相中從高濃度區(qū)域向低濃度區(qū)域的自發(fā)移動。在擴散爐中,先將摻雜物加工成粉末或固體塊,然后將其放置在爐底的托盤上。將晶體硅桿或片放置在爐中,并將爐門關(guān)閉,啟動爐子升溫至目標(biāo)摻雜溫度。當(dāng)爐溫達到所需溫度時,表面凈化劑(如氬氣)會通過爐子輸送管道進入爐內(nèi),以保持爐內(nèi)氧化性質(zhì)的穩(wěn)定。接著,摻雜物會被加熱并釋放出摻雜原子,這些原子會很快擴散到近鄰的半導(dǎo)體晶體中。因而形成摻雜濃度梯度,遵循所有輸運過程的擴散規(guī)律。摻雜結(jié)束后,爐子冷卻至室溫,晶體硅桿或片從爐中取出并經(jīng)過切片,加工制作成各種半導(dǎo)體器件。






需要注意的是在高溫氧化擴散爐體內(nèi)硅片與外部供給的高純氧氣反應(yīng),使硅片上生成一層氧化層。這層氧化層的質(zhì)量、穩(wěn)定性和介質(zhì)特性等性能對MOS工藝中的柵結(jié)構(gòu)至關(guān)重要。溫度是影響氧化層特性的關(guān)鍵工藝參數(shù),影響氧化層生長速度、均勻性等特性。氧化工藝要求硅片上各個區(qū)間與各個硅片都處于一致均勻、穩(wěn)定的溫度場中,對爐膛恒溫區(qū)間的溫度一致性、穩(wěn)定性要求極高;并且為了使各個硅片特性一致,在不同工藝溫度之間的變化過程中,要求所有硅片所處溫度盡量一致變化。氧化工藝是使硅片表面在高溫下與氧化劑發(fā)生反應(yīng),生長一層二氧化硅膜。氧化方法有干氧和濕氧,濕氧包括水汽氧化和氫氧合成兩種。






為監(jiān)測氧化方法有干氧和濕氧變化工采網(wǎng)推薦推薦的極限電流型氧化鋯氧氣傳感器- SO-E2-250因為在氧化鋯電解質(zhì)中電流的載體是氧離子,所以當(dāng)電壓施加到氧化鋯電解槽時,氧氣通過氧化鋯盤被抽到陽極。如果給電解槽陰極加上一個帶孔的蓋子,氧氣流向陰極的速率就會受到限制。受到這個速率的限制,隨著所施加的電壓逐漸增加,電解槽內(nèi)的電流會達到飽和。這個飽和電流被稱為極限電流,它與周邊環(huán)境中的氧氣濃度成正比。

主站蜘蛛池模板: 小柔的性放荡羞辱日记动漫 | 国产女主播在线播放一区二区 | 色吧 | 9420高清视频在线观看网百度 | 青青国产成人久久91网 | 亚洲一区二区三区久久精品 | 成人影院免费在线观看 | 爱豆传媒最新视频国产 | 久见久热 这里只有精品 | 糖心vlog视频永久破解版 | 天堂在线看 | 久久青草免费91线频观看站街 | 国产精品高清一区二区三区不卡 | 羞羞答答免费人成黄页在线观看国产 | 手机看片1024国产 | 久久久久久久久性潮 | 高肉h护士办公室play | 高清女主播一区二区三区 | 朝鲜女人free性xxe | 久久久伊人影院 | 国产乱人乱精一区二区视频密 | 国产精品一区二区不卡的视频 | 思思久久精品在热线热 | 亚洲一卡2卡三卡4卡5卡组 | 波多野结衣xxxxx在线播放 | 日本乱人伦中文在线播放 | 亚洲 欧美 国产 在线 日韩 | 亚洲国产精品嫩草影院久久 | 欧美专区视频 | 黑人巨大和日本娇小中出 | 色综合色狠狠天天久久婷婷基地 | 久久99亚洲AV无码四区碰碰 | 亚洲AVAV天堂AV在线网爱情 | 把美女屁股眼扒开图片 | 国产成人综合精品 | gayrb免费漫画入口 | 污漫日本E同人 | 国产在线一区二区杨幂 | 色一情一区二区三区四区 | 欧美一卡2卡3卡无卡 | 亚洲激情自拍偷拍 |