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15057118702
級別: 探索解密
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樓主  發(fā)表于: 2013-12-05 10:51

工藝條件:

1、手動打開進氣閥1(N2氣)、出氣閥、手動調整微調閥到壓力為4.3pa(±0.2pa).
2、壓力到4.3pa(±0.2pa)后開始計時(30min)。
3、30min到后自動關閉進氣閥1(N2氣),打開進氣閥2(氫氮混合氣),手動調整微調閥到壓力為4.3pa(±0.2pa)。
4、壓力到4.3pa(±0.2pa)后開始計時(30min)。
5、30min到后自動關閉出氣閥。
6、等氣壓到0.03pa后關閉進氣閥2(氫氮混合氣)。
7、開啟加熱器等溫度到達65℃后開始計時(16h)。
8、16h到后關閉加熱器。
9、打開進氣閥1(N2氣)、出氣閥、手動調整微調閥到壓力為4.3pa(±0.2pa).
10、壓力到4.3pa(±0.2pa)后開始計時(30min)。
11、30min到后自動關閉進氣閥1(N2氣)。
12、壓力到0后關閉出氣閥。
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