一区二区三区成人-一区二区三区www-一区二区三区 日韩-一区二区日韩欧美-一区二区日韩精品中文字幕-一区二区日韩

工采網
級別: 略有小成
精華主題: 0
發帖數量: 199 個
工控威望: 431 點
下載積分: 1526 分
在線時間: 3(小時)
注冊時間: 2020-06-02
最后登錄: 2024-06-13
查看工采網的 主題 / 回貼
樓主  發表于: 2022-01-13 15:34
質量流量控制器,即 Mass Flow Controller(縮寫為MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一種用于通過測量流體的質量流量來控制流量的設備。當氣體流經加熱表面時,氣體分子產生熱傳遞,與加熱表面產生接觸的氣體分子越多,熱傳遞現象越明顯。通過對加熱表面熱量變化的測量,即可以反應出某種氣體的質量流量變化。這種測量方法不受氣壓與環境溫度的影響,因為它所測量的本質是氣體分子的數量。

熱式氣體質量流量傳感器是氣體質量流量控制器中一個重要的核心部件,對氣體質量流量控制器的性能指標,如零漂,準確度,線性,重復度,響應時間等重要指標參數有直接影響.要使氣體質量流量控制器的性能指標得到明顯改善,首先就要提升熱式氣體質量流量傳感器的性能.然而,熱式氣體質量流量傳感器的性能與其本身的結構參數設計是密切相關的。那么IST流量傳感器在MFC中的應用如何呢?





IST-AG通過特殊的薄膜工藝,將高精度加熱器,溫度傳感器或電堆封裝在單一芯片內,構成流量測量的核心傳感單元(Figure 2)    ,通過流量傳感器以響應絕大多數流量測量場景,薄膜技術的應用使得IST AG流量傳感器具有無與倫比的結構與性能優勢。為此IST流量傳感器在MFC中的應用工采網推薦瑞士IST 質量流量傳感器 - FS5.0.1L.195的升級版IST-AG FS7流量傳感器。



IST公司的FS5.0.1L.195是一個熱質流量傳感器,用于各種氣流應用.熱質流量傳感器使用熱傳遞原則,確定流體的流率.隨著流體通過傳感器,熱質由傳感器傳遞到媒體.此關序取決于流動速率.隨著流動增加,熱量被傳遞.通過了解媒體的溫度,即可通過為保持恒定溫度差的電壓補償量得出流速。

而IST-AG FS7流量傳感器寬廣的測量范圍允許將傳感器直接置于被測氣路當中,免去復雜的旁路設計。傳感器具有陶瓷基底與鈍化玻璃層進行保護,具有極佳的長期穩定性。



因此在終端應用中,質量流量控制器的可靠性多半是許多半導體工藝的基礎。MFC 的失準或制造缺陷會導致晶圓產量下降,甚至會損壞整個晶圓。采用IST流量傳感器則可以為MFC產品帶來如下優勢:

1、足夠寬的測量范圍使得在許多場景中不必使用旁路,而進行直接測量,提高測量的準確性。

2、薄膜技術帶來極高的響應靈敏度,在一般測量狀態就可以瞬間響應壓力浪涌。

3、小巧的體積與簡單的安裝方式,給氣路結構優化創造更大的空間。

4.易于校準,簡化生產過程。

主站蜘蛛池模板: 成年人黄视频在线观看 | 久久天堂成人影院 | 国产在线91 | 成年人视频在线播放 | 日本高清视频在线观看 | 日本妇人成熟免费不卡片 | 亚洲天天做夜夜做天天欢 | 俄罗斯妈妈235 | 欧美又大又粗又爽视频 | 天堂成人在线观看 | 天天舔天天干 | 欧美亚洲一区二区三区在线 | 变态人shou交小说 | 91精品国产免费久久国语蜜臀 | 美女福利视频一区二区 | 日韩日韩日韩手机看片自拍 | 色亚洲色图 | 亚洲 欧美 国产 视频二区 | 欧美高清免费一级在线 | 久久亚洲精品AV无码四区 | 日本不卡视频免费 | 插得爽| 亚洲福利精品电影在线观看 | avtt天堂网 手机资源 | 青青青久久久 | 午夜福利体验免费体验区 | 午夜熟女插插XX免费视频 | 久久夜色噜噜噜亚洲AV0000 | 数学老师扒开腿让我爽快 | 狠狠干奇米| 日韩毛片在线影视 | 末代皇帝无删减版在线观看 | 性刺激欧美三级在线现看中文 | 456老汉gay| 美女尿口羞羞视频 | 天天操天天射天天爽 | kisssis无减删全集在线观看 | 呜呜别塞了啊抽插 | 惩罚狠h调教灌满 | 国产一级特黄aa大片免费 | 日本乱中文字幕系列在线观看 |