一区二区三区成人-一区二区三区www-一区二区三区 日韩-一区二区日韩欧美-一区二区日韩精品中文字幕-一区二区日韩

工采網
級別: 略有小成
精華主題: 0
發帖數量: 199 個
工控威望: 431 點
下載積分: 1526 分
在線時間: 3(小時)
注冊時間: 2020-06-02
最后登錄: 2024-06-13
查看工采網的 主題 / 回貼
樓主  發表于: 2023-08-03 10:05

熱式MFC/MFM,也就是熱式質量流量控制器,是一種用于通過測量流體的質量流量來控制流量的設備。在終端應用中,MFC的失準或制造缺陷會導致晶圓產量下降,甚至會損壞整個晶圓,因此質量流量控制器的可靠性是許多半導體工藝的基礎。    

        

一般的熱式MFC常在氣流旁路的外部纏繞加熱器與溫度傳感器(Figure 1)。當沒有氣流時,旁路的兩側氣壓相同,因此旁路中也沒有氣體流動。這時由旁路加熱器產生的熱量均勻且對稱地向周圍擴散,加熱器兩側的溫度傳感器具有相同的溫度輸出,也就是溫度測量的偏移量ΔT = 0℃。當氣體流動時,旁路上下游的傳感器感知到溫度的偏移,通過該偏移量測算當下的流速。此時溫度與質量流量成正比,與氣體的熱容量成反比。




由于核心傳感元件的限制,傳統MFC需要相對復雜的結構設計與制造標定流程來滿足測量要求,并且由于被測氣體與傳感部分無法直接接觸的原因,系統的響應速度與測量精度均會受到制約。當氣體流經加熱表面時,氣體分子產生熱傳遞,與加熱表面產生接觸的氣體分子越多,熱傳遞現象越明顯。通過對加熱表面熱量變化的測量,即可以反應出某種氣體的質量流量變化。這種測量方法不受氣壓與環境溫度的影響,因為它所測量的本質是氣體分子的數量。



因而IST-AG通過特殊的薄膜工藝,將高精度加熱器,溫度傳感器或電堆封裝在單一芯片內,構成流量測量的核心傳感單元(Figure 2)。IST-AG傳感器的流量傳感器分為三種類型:熱阻式(Thermo-resistive),量熱熱電式(Calorimetric thermo-electric),與量熱熱阻式(Calorimetric thermo-resistive),以響應絕大多數流量測量場景, 薄膜技術的應用使得IST AG流量傳感器具有無與倫比的結構與性能優勢。



采用IST流量傳感器可以為MFC產品帶來足夠寬的測量范圍使得在許多場景中不必使用旁路,而進行直接測量,提高測量的準確性。其次薄膜技術帶來極高的響應靈敏度,在一般測量狀態就可以瞬間響應壓力浪涌。小巧的體積與簡單的安裝方式,給氣路結構優化創造更大的空間。易于校準,簡化生產過程。工采網提供的瑞士IST熱質量流量傳感器–FS7是FS5流量傳感器的后續產品,采用對稱的加熱器設計,具有增強的靈敏度。FS7流量傳感器適合用于氣體應用,具有出色的長期穩定性。FS7傳感器的熱質量小因此響應時間短。此外,標準FS7傳感器還配備罩殼,從而方便用于各種不同應用。

主站蜘蛛池模板: bbc japanese黑人强行| 日产乱码卡一卡2卡三卡四福利 | 午夜视频一区 | 亚洲丰满模特裸做爰 | 免费港剧在线观看港剧 | 国产自拍资源 | 国产老村长足疗店对白 | 波多野结衣伦理在线观看 | 免费人成在线观看视频播放 | 99精品免费视频 | 91探花在线观看 | 侮辱丰满美丽的人妻 | 欧美香蕉人人人人人人爱 | 午夜理论电影在线观看亚洲 | 四虎影视在线看 | 爱色综合v | 高跟丝袜人妖sissy露出调教 | 日本高清色视影www日本 | 成人精品区 | 亚洲精品一区制服丝袜 | 国产精品亚洲片夜色在线 | 日本a在线天堂 | 小嫩videos| 成人看的羞羞视频免费观看 | 午夜熟女插插XX免费视频 | 欧美三级小说 | 久久不卡免费视频 | 免费一级毛片在线播放放视频 | 91夜夜人人揉人人捏人人添 | 色中文| 青草视频在线观看视频 | 青青草视频国产 | 白鹿扒开内裤露出尿孔 | 色综合久久天天综合 | 天天干天天色综合 | 国产区成人综合色在线 | 日韩成人在线影院 | 国产一区二区播放 | x8x8在线永久免费观看 | www.麻豆| 波多野结衣在线免费观看 |